FZ（浮遊帯域）半導体精製装置

製品名		浮遊帯域半導体生成装置（FZ装置）
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製品説明		シリコンロッドを偏析法により、浮遊帯域精製もしくは単結晶化及び無転位単結晶化することを目的とする装置です。加熱電源装置として、３０ＫＷ３MＨｚの電子管方式の高周波誘導加熱電源を使用します。